A . 반도체 산업에서는 미세먼지 제거 공정 및 환경오염 방지 기술 개발도 중요하다. 이를 위해서는 실내 공기질 개선 시스템 구축이 필요한데, 여기서 말하는 실내 공기질 개선 시스템이란 공장 내 오염된 공기를 실외로 배출하기 전에 여과하여 깨끗한 공기만을 외부로 배출하는 장치를 말한다. 이러한 장치는 크게 필터형/촉매형 으로 나눌 수 있는데, 각각의 특징으로는 먼저 필터형은 먼지 입자 크기별로 다른 필터를 적용할 수 있으며, 촉매형은 유해가스 분해 효과가 뛰어나다. 따라서 각 시설 특성에 맞는 최적의 설비를 도입해야 한다.
A . 반도체 산업에서는 미세먼지 제거 공정 및 환경오염 방지 기술 개발도 중요하다. 이를 위해서는 실내 공기질 개선 시스템 구축이 필요한데, 여기서 말하는 실내 공기질 개선 시스템이란 공장 내 오염된 공기를 실외로 배출하기 전에 여과하여 깨끗한 공기만을 외부로 배출하는 장치를 말한다. 이러한 장치는 크게 필터형/촉매형 으로 나눌 수 있는데, 각각의 특징으로는 먼저 필터형은 먼지 입자 크기별로 다른 필터를 적용할 수 있으며, 촉매형은 유해가스 분해 효과가 뛰어나다. 따라서 각 시설 특성에 맞는 최적의 설비를 도입해야 한다.